適用于SIH4硅烷，NH3氨氣，N20笑氣，HCI氯化氣等大流量工藝需求的介質(zhì)。
設(shè)備基礎(chǔ)配置參數(shù)：
l 供氣盤面：自動/手切氣體切換，自動/手動氣體吹掃
l 自動遠(yuǎn)程切斷
l 防爆玻璃觀察窗、防爆自鎖門、防爆電控箱
l 10-12寸彩色中文人機(jī)界面，實(shí)現(xiàn)人氣分離全自動觸摸屏操作
l 泄露報警、負(fù)壓報警
可選配置：
l 面板加熱
l 鋼瓶加熱
l 電子磅秤
配置 UV/IR,噴淋頭，高溫，煙感應(yīng)
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