一種專為儲存和處理特種氣體而設計的高端設備，應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上，適用于芯片半導體、光伏太陽能電池、微電子新材料等行業(yè)。
適用氣體：燃爆毒腐蝕危險性氣體
設備基礎配置參數(shù)：
l 單瓶/雙瓶/三瓶可選
l 供氣盤面：自動/手切氣體切換，自動/手動氣體吹掃
l 自動遠程切斷
l 防爆玻璃觀察窗、防爆自鎖門、防爆電控箱
l 10-12寸彩色中文人機界面，實現(xiàn)人氣分離全自動觸摸屏操作
l 泄露報警、負壓報警
l 4寸排風口及閥門
可選配置：
l 面板加熱
l 鋼瓶加熱
l 電子磅秤
l 配置 UV/IR,噴淋頭，高溫，煙感應
l 防呆裝置
l 溫控裝置
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