一種內(nèi)嵌多支路，實現(xiàn)高純氣體或液體分流的閥門箱。適用于Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED，研究所，高校實驗室等行業(yè)
適用氣體：燃爆毒腐蝕危險性氣體
設備基礎配置參數(shù)：
l 防爆玻璃觀察窗、防爆自鎖門、防爆電控箱
l 自動遠程切斷
l 7寸彩色中文人機界面，實現(xiàn)人氣分離全自動觸摸屏操作
l 預留擴充點
l 泄露報警、負壓報警
l 尾氣排放功能
可選配置：
l 面板加熱
l 管道伴熱
配置 UV/IR,噴淋頭，高溫，煙感應
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