一種專為儲(chǔ)存和處理特種氣體而設(shè)計(jì)的高端設(shè)備，應(yīng)用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機(jī)等配套設(shè)備上，適用于芯片半導(dǎo)體、光伏太陽(yáng)能電池、微電子新材料等行業(yè)。
適用氣體：燃爆毒腐蝕危險(xiǎn)性氣體
設(shè)備基礎(chǔ)配置參數(shù)：
l 單瓶/雙瓶/三瓶可選
l 供氣盤(pán)面：自動(dòng)/手切氣體切換，自動(dòng)/手動(dòng)氣體吹掃
l 自動(dòng)遠(yuǎn)程切斷
l 防爆玻璃觀察窗、防爆自鎖門(mén)、防爆電控箱
l 10-12寸彩色中文人機(jī)界面，實(shí)現(xiàn)人氣分離全自動(dòng)觸摸屏操作
l 泄露報(bào)警、負(fù)壓報(bào)警
l 4寸排風(fēng)口及閥門(mén)
可選配置：
l 面板加熱
l 鋼瓶加熱
l 電子磅秤
l 配置 UV/IR,噴淋頭，高溫，煙感應(yīng)
l 防呆裝置
l 溫控裝置
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