?LCV：Check valve for vent 排放單向閥，用于氣體排放時(shí)保證特氣不會(huì)倒流進(jìn)入吹掃氮?dú)饷姘寤蜾撈浚?/span>
?CVP：Check valve 單向閥；
?HPT：High delivery pressure transducer 高壓傳感器，接在鋼瓶出口的后端，調(diào)壓閥的前端，用來(lái)顯示鋼瓶?jī)?nèi)氣體的壓力；
?LPT：Delivery pressure transducer 輸送壓力傳感器，安裝在兩級(jí)調(diào)壓閥之后，用來(lái)顯示調(diào)壓后的氣體輸送壓力值；
?VPT：Vent pressure transducer 排放壓力傳感器，用來(lái)顯示氣體排放管路的壓力；
?REG：First stage regulator 一級(jí)調(diào)壓閥，用來(lái)將鋼瓶的壓力進(jìn)行第一次調(diào)低；
?REG2：Second stage regulator 二級(jí)調(diào)壓閥，進(jìn)行第二次調(diào)壓，將鋼瓶壓力調(diào)低到一個(gè)合理安全的傳輸壓力；
?HPI：High pressure isolation valve 高壓隔離閥，用于高壓和低壓管路的隔離；
?HPV：High pressure vent valve 高壓排放閥，主要用于鋼瓶吹掃時(shí)，工藝氣體的排放和吹掃氮?dú)獾呐欧牛?/span>
?PGI：Purge gas isolation valve 吹掃氣體隔離閥，用于鋼瓶吹掃時(shí)，吹掃氮?dú)忾_(kāi)閉的控制；
?LPV：Low pressure vent valve 低壓排放閥；
?LPI：Auto switch valve 自動(dòng)切換閥，用于左右兩個(gè)鋼瓶的切換；
?PNBV：Purge gas bleed valve 氮?dú)獯祾卟凰篱y；
?PHPI：High Pressure N2 valve 高壓氮?dú)獯祾唛y；
?MIV：Manual isolation valve 手動(dòng)隔離閥，安裝在面板的出口，用于面板和工藝管路的雙隔離；
?EXV：Expansion valve 擴(kuò)展閥；
?GNBV：Vacuum Generator 真空發(fā)生器，用來(lái)產(chǎn)生真空，當(dāng)其氣動(dòng)閥門打開(kāi)時(shí)，GN2 流經(jīng)真空發(fā)生器，產(chǎn)生真空，用來(lái)抽空工藝面板。
